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MEMS(微電子機械系統)壓力傅感器技術
發布時間:2015-01-28   點擊次數:2103次

「"邦定" 技術是zui新的壓力傅感器技術。使用一片式金屬和MEMS微電子機械學系統應變片。這種技術提供的可重復性測量。」Karmjit Sidhu是業務發展副總裁,AST的創辦人,新澤西工業學會的物料學博士。Close up photo of 邦定?技術,showing silicon strain gages on a metal diaphragm


應變片是分子式地分布在金屬隔膜表面,使用無機材料及高溫,當溫度減少時,無機粘合才料會固伐,確保矽應變片在傳感器的中央位置上面,這樣就做成了一個單片式傳感元件。


為何要使用邦定?技術?

壓力至壓力傳感器技術概述技術之間的關系,屈服點和材料的斷裂應變曲線把傳感器膜片形度控制在小於其屈服強度的15%,使得 AST傳感器膜片減少勞損,從而增加了傳感器的使用壽命,提高了超壓和極限破壞壓力的能力,增加了長期工作的穩定性。一個簡單例子是對一個氣球進行充氣和放氣若干次,可以看到氣球壁的厚度決定其復原能力。球壁越厚,復原能力越強,當感應膜片在壓力下產生變形時"邦定"技術保證感應膜片不受壓力以外的壓力影響,自由地因壓力而產生變動,這個過程象氣球,自行車胎,氣車輪胎等。充氣時壓力原理相同。

通過使用無機材料來溶接應變片到隔膜上的工藝中對壓力感應元件來說,實際上是可以長期保存的。AST的應變片也會產生具有低熱誤差的高度輸出信號。

很典型的壓力傳感器包括了一個壓力螺紋接口,六角和隔膜。AST的所有這叁個無元件都屬於一個元件。金屬 有個機床加工出來的形狀和有個內孔介質是完全包含在敏感元件里。一些傳感器技術用一個O形圈固定住陶瓷隔膜,使用縫隙里充滿油到變送器里,或把隔膜焊接到壓力口。"邦定"簡單地用一種材料,并且無 漏路徑發生。通過用單片材料設計壓力傳感器單元。AST消除弱點和污染的危險。

AST傳感器可以隔離500V交流絕以緣是理想的控制系統應用器件,并且得到CSA認證。

邦定?技術可以用在不同的材料,例如17 -4PH,316L,718鉻鎳鐵合金和鈦等材料,設計制造各種 寸,滿足用戶需求,對於酸性氣體,MEMS技術可以滿足不同的個質要求。

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