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電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器

簡要描述:

電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器采用了金屬濺射技術等半導體生產工藝,在金屬膜片上形成應變橋路,消除了貼片式應變壓力傳感器因膠層引起的蠕變、老化等缺陷。該產品核心部件從歐美原裝引進,整體采用電子束焊接,具有較高的溫度使用范圍,特別適合用于石油深井等領域的高溫高壓測量。

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   電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器采用了金屬濺射技術等半導體生產工藝,在金屬膜片上形成應變橋路,消除了貼片式應變壓力傳感器因膠層引起的蠕變、老化等缺陷。該產品核心部件從歐美原裝引進,整體采用電子束焊接,具有較高的溫度使用范圍,特別適合用于石油深井和國防等領域的高溫高壓測量。

電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器產品特點

高溫、高壓、高可靠性

無隔離膜片和灌充液

抗電磁、射頻干擾

大批量OEM應用可專門設計

 

電容式金屬濺射薄膜壓力傳感器主要技術參數: 被測介質: 氣體,液體及蒸氣壓力類型: 表壓、絕壓量程: 0 - 0.6~120 Mpa間任意可選輸出 :1.2~1.8 mv/V綜合精度: ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS非線性: 0.06~0.1%FS遲滯: 0.02~0.05%FS重復性: 0.03~0.06%FS零點溫漂: ±0.01%FS/℃靈敏度溫漂: ±0.02%FS/℃供電: 5~15V DC輸出阻抗: 1.5~3KΩ絕緣電阻: ≥1000 MΩ/100VDC工作溫度: -40~+85125150℃可選過載能力: 150%FS電氣連接: 高溫引出線壓力連接: M10×1雙"O"圈密封或用戶指定接液材料 膜片:17-4PH過程連接件1Cr18Ni9Ti相對濕度: 0~95% RH密封等級 :IP65

各種壓力傳感器對比
種類 優點 缺點 
擴散硅(壓阻式) 1、精度高;2、小量程和絕壓產品優于其它類型產品。 1、低于0℃高于40℃后溫度穩定性能大幅度降低;2、膜片易損壞,溫漂大;3、壓力量程局限。 
厚膜陶瓷(壓阻式) 1、成本低;2、抗腐蝕性能好;3、使用范圍較擴散硅寬。 1、不穩定;2、壓力下降時,回零難;3、精度差,膜片易碎。 
電容式 1、工藝成熟,穩定性較好;2、過載能力強,抗腐蝕性強。 1、成本很高;2、體積大,安裝維護不方便。 
應變片(應變式) 1、成本低;2、成熟膠粘工藝。 1、手工生產,離散性大;2、漂移大,穩定性差。 
藍寶石 1、精度高,溫度范圍寬;2、量程范圍寬;3、體積小、重量輕。 1、成本高;2、工藝復雜技術要求高;3、敏感材料需要進口。 
原子薄膜(應變式) 1、精度高,溫度范圍寬;2、溫漂小,穩定性好;3、體積小、重量輕; 1、成本高;2、不適合小量程和差壓測量。 

 


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